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新宇宙cosmos XP-703DⅢ半导体材料气体检测仪
检测对象：H2丨AsH3丨B2H6丨SiH4丨PH3
检测浓度：1.0ppm丨0.5ppm丨0.2ppm丨0.5ppm丨0.3ppm
检测原理：专线型半导体式
采样方式：自动吸引式
应用行业：半导体制造
产品描述：半导体材料气体检测
01.产品特点
● 小型·轻量
● 可以检查非常微量的气体泄漏
● *适合氢气相关设备的保安
● 搭载的泵有自动停止功能
● 搭载[自动气体排气模式]功能
● 保护等级约为IP22（JIS C 0920）※安装皮套时
新宇宙cosmos XP-703DⅢ半导体材料气体检测仪产品用途
半导体工厂/石油化学工厂等
在使用半导体材料气体/毒性气体的现场进行泄漏检测
新宇宙cosmos XP-703DⅢ半导体材料气体检测仪产品参数
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型号 |
XP-703DⅢ |
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检测对象气体 |
H2、AsH3、B2H6、SiH4、PH3 |
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检测原理 |
专线型半导体式 |
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采集方式 |
自动吸引式 |
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可检测泄漏量 |
H2 ：5.07×10-7、AsH3 ：2.53×10-7、B2H6、1.01×10-7SiH4、2.53×10-7 、PH3：1.52×10-7 |
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可检测浓度 |
H2 ：5.07×10-7、AsH3 ：2.53×10-7、B2H6、1.01×10-7SiH4、2.53×10-7 、PH3：1.52×10-7 |
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反应时间 |
10秒以内 |
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显示方式 |
液晶数字（手动背景灯） |
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电源（额定） |
5号碱性干电池（LR6） 2节 |
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电池使用时间※1 |
约12小时（5号碱性干电池、25℃时） |
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保护等级※2 |
相当于IP22※3 |
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使用压力范围 |
大气压（800～1100kpa） |
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使用温湿度范围 |
0～40℃/85%RH以下（但不能结露） |
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外形尺寸 |
W38×H130×D32㎜（突出部分除外） |
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重量 |
约190g（包括电池、皮套） |
