CVmap92A 汞探针（汞CV）测试仪 掺杂浓度仪

该产品主要用来测试衬底为化合物（碳化硅（SiC）或蓝宝石（Sapphire））的高电子迁移率晶体管（HEMT）结构，测试参数为外延层的参杂浓度和电阻率（在迁移率为已知的条件下），同时还可以测试载流子浓度分布，平带电压（在该结构表层为介电层的条件下）以及界面态密度。采用特殊的汞探针探头，具有**的电极面积，从而得到更精准、可靠的数据。

1、CVmap 92A main body（原材料一）
名称	CVmap 92A mainbody设备主机
尺寸	50.8cm(Depth)、55.9cm(Width)、33cm(height)
重量	56kg
功率	95W
2、Computer（原材料二）
名称	CV main computer软件运行电脑
尺寸	43.2cm(depth),17.8cm(width),45.72cm(height)
重量	9.1kg
性能	≥I5处理器，HardDisk 1T, Memory 8G
功率	20W
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2、Monitor（原材料三）
名称	Monitor 显示器
尺寸	5.08cm(depth),43.2cm(width),30.5cm(height)
重量	3.7kg
功率	13W
3、E4980A源表（原材料四）
名称	E4980A信号源表
尺寸	37.5cm(Width)x39cm(Depth)x11(Height)cm
重量	5.3kg
功率	43W
4、CVmap 92A Embeded Controller（原材料四）
名称	Embeded computer嵌入式控制器
尺寸	18cm(Width)x43.2 (Depth)x18cm(Height)
重量	3.2kg
功率	28W

序号	项目	参数	备注
1	测量尺寸	20x20mm~200mm晶片.
2	效率	30s/点
3	能耗	200W
4	性能 等	探头点面积：大约0.02平方厘米 探头接触面积的重复性：优于1%
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