产品名称： S49 32系列气体质量流量控制器

日本HORIBA S49 32系列气体质量流量控制器

气体质量流量控制器（流量计）
特点及应用领域
气体质量流量控制器（流量计）（Mass gas flow controller(meter)缩写为MFC(MFM)）是对气体的质量流量进行精密测量和控制的设备。

S49 系列质量流量控制器（流量计）特点：
*阀体采用不锈钢（316L）结构，与气体接触部分采用铁素体高耐腐蚀软磁不锈钢、VITON®、聚四氟乙烯等。线路板、阀体、弹簧等为重要零部件，均执行严格的入厂标准
*适用于各种腐蚀性气体
*气体流量不因温度、压力的变化而失准
*高精度
*重复性好
*软启动、稳定可靠
*低压降
*工作压力范围宽（可以在高压或真空条件下工作）
*便于与计算机连接实现自动控制

S49 系列质量流量控制器(流量计)主要应用领域：
*半导体制造行业的气体流量控制
*分析仪器设备的气体计量与控制
*各种形式的真空镀膜设备
*环境检测与分析设备
*化工、石化、食品行业气体流量监测和控制
*特种材料表面处理装置与燃烧控制
*混气配气系统和泄漏探测系统等

S49 系列质量流量控制器(流量计)
质量流量计主要**测量气体流量，质量流量控制器不但具有质量流量计的功能还具备自动控制气体流量的功能。
执行 Q/CYHMT0001-2017 企业标准

日本HORIBA S49 32系列气体质量流量控制器主要技术指标
质量流量控制器(流量计)出厂通常用氮气（N2）标定。
质量流量的单位规定为：标准状态 mL/min（毫升/分钟) （SCCM 行业标准）
标准状态 L/min （升/分钟） （SLM行业标准）
标准状态为：温度----273.15K（0℃）
气压----101325Pa（1atm）
F.S.(Full Scale)：表示满量程值